Prinsip kerja mikroskop elektron didasarkan pada pemanfaatan berkas elektron sebagai sumber penerangan untuk menghasilkan citra objek. Berbeda dengan mikroskop cahaya yang menggunakan foton, mikroskop elektron memakai elektron yang memiliki panjang gelombang jauh lebih pendek.
Sumber Elektron
Berkas elektron dihasilkan dari katoda yang dipanaskan atau melalui emisi lapangan. Elektron kemudian dipercepat menggunakan tegangan tinggi.
Sistem Lensa
Mikroskop elektron menggunakan lensa elektromagnetik untuk memfokuskan berkas elektron. Lensa ini menggantikan fungsi lensa kaca pada mikroskop cahaya.
Deteksi dan Pembentukan Citra
Setelah berinteraksi dengan sampel, elektron yang keluar dideteksi oleh detektor elektron dan diubah menjadi sinyal yang membentuk citra pada layar atau komputer.